特許
J-GLOBAL ID：200903004648181338
気体分離装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三戸部 節男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-276384
公開番号（公開出願番号）：特開平11-090158
出願日： 1997年09月24日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：
【要約】【課題】 従来の窒素ガス発生装置では、製品タンク20内の窒素ガスの取り出し量が少ない場合においても製品タンク20内の窒素ガス濃度が所定濃度以下となるような、充填剤1A,2A自体の性能が非常に低下した状態(または、圧縮機3の吐出空気量が非常に低下した状態)になるまで、その異常を検出できないという問題点があった。【解決手段】 性能劣化判定回路103により、窒素発生装置自体により窒素ガスを生成している状態における製品タンク20内の窒素ガス濃度の増加率が所定の増加率よりも小さい場合に異常を検出する。
請求項（抜粋）：
内部に充填剤が充填された吸着槽に圧縮機により圧縮した原料気体を供給し、前記吸着槽を昇圧状態にした後、該吸着槽の半製品ガス取出用弁を開弁させて該吸着剤により生成された製品ガスを製品タンク内に蓄圧し、前記製品タンクより被供給機器に製品ガスを供給する気体分離装置において、前記製品タンクより被供給機器への製品ガス取出管路に設けられた製品ガス取出用弁と、前記製品タンク内の製品ガスの濃度を検出するための濃度検出手段と、前記濃度検出手段により検出された前記製品ガスの濃度に基づいて前記気体分離装置の異常を検出する異常検出手段と、を設け、前記異常検出手段は、前記製品ガス取出用弁が閉弁している状態において、前記濃度検出手段により検出された製品ガスの濃度の増加率が予め定められた所定の増加率よりも小さい場合に前記気体分離装置自体の異常を検出することを特徴とする気体分離装置。
FI (2件)：
B01D 53/04 E
, B01D 53/04 B
