特許
J-GLOBAL ID:200903004652652477
磁気ヘッド及びこれを用いた磁気記録再生装置、並びに磁気ヘッドの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小松 祐治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-147882
公開番号(公開出願番号):特開2002-342904
出願日: 2001年05月17日
公開日(公表日): 2002年11月29日
要約:
【要約】【課題】 磁気ヘッドにおいて、耐磨耗性、耐食性等に優れたパッドを提供することで、初期エラーの発生率を低減させ、信頼性の向上を図る。【解決手段】 磁気ヘッド2は、記録媒体3との対向面において、PVD法によりDLC(ダイヤモンド・ライク・カーボン)膜をコーティングすることで成膜したパッド8、9、9を有する。DLCの成膜工程では、アルゴン雰囲気中で、アルゴン・エッチング工程と、カーボン・スパッタリング工程とを、繰り返し行うことにより、DLCのコーティングを行う。
請求項(抜粋):
磁気ヘッドにおける記録媒体との対向面において、PVD法によりダイヤモンド・ライク・カーボンの膜をコーティングすることで成膜したパッドを有することを特徴とする磁気ヘッド。
IPC (3件):
G11B 5/187
, G11B 5/255
, G11B 5/60
FI (5件):
G11B 5/187 K
, G11B 5/255
, G11B 5/60 B
, G11B 5/60 C
, G11B 5/60 Z
Fターム (14件):
5D042NA01
, 5D042PA01
, 5D042RA02
, 5D042SA02
, 5D042SA03
, 5D111AA24
, 5D111DD04
, 5D111EE02
, 5D111FF23
, 5D111GG09
, 5D111JJ04
, 5D111KK07
, 5D111KK08
, 5D111KK09
引用特許:
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