ニッケルまたはニッケル合金のエッチング液

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩野平 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-122946
公開番号（公開出願番号）：特開2001-140084
出願日： 2000年04月24日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：

【要約】【課題】ニッケルまたはニッケル合金のエッチング速度が速く、かつそれら以外の金属、特に銅や銅合金の浸食がきわめて少なく、更にサイドエッチングがほとんど生じないニッケルまたはニッケル合金のエッチング液を提供すること。【解決手段】ニッケルまたはニッケル合金とその他の金属が混在している材料からニッケルまたはニッケル合金を選択的にエッチングするエッチング液であって、(A)硝酸5〜55重量%、(B)硫酸0.5〜40重量%、(C)過酸化物、硝酸塩および芳香族ニトロ化合物から選ばれた主酸化剤0.1〜20重量%ならびに(D)塩素イオン0.0001〜0.5重量%を含有する水溶液からなるニッケルまたはニッケル合金のエッチング液。

請求項（抜粋）：

ニッケルまたはニッケル合金とその他の金属が混在している材料からニッケルまたはニッケル合金を選択的にエッチングするエッチング液であって、(A)硝酸5〜55重量%、(B)硫酸0.5〜40重量%、(C)過酸化物、硝酸塩および芳香族ニトロ化合物から選ばれた主酸化剤0.1〜20重量%ならびに(D)塩素イオン0.0001〜0.5重量%を含有する水溶液からなるニッケルまたはニッケル合金のエッチング液。

IPC (3件)：

C23F 1/28 , H01L 21/306 , H05K 3/06

FI (3件)：

C23F 1/28 , H05K 3/06 M , H01L 21/306 F

Fターム (24件)：

4K057WA13 , 4K057WB03 , 4K057WB15 , 4K057WE02 , 4K057WE03 , 4K057WE08 , 4K057WE09 , 4K057WE11 , 4K057WE15 , 4K057WE16 , 4K057WE25 , 4K057WE30 , 4K057WG03 , 4K057WN01 , 5E339BC01 , 5E339BC02 , 5E339BE13 , 5E339BE17 , 5E339GG02 , 5F043AA26 , 5F043BB15 , 5F043FF10 , 5F043GG02 , 5F043GG04

引用特許：

審査官引用 (5件)

ニッケル被膜またはニッケル合金被膜の剥離液
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-144090 出願人：メルテックス株式会社
特開昭57-098676
特開昭57-098676

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