特許
J-GLOBAL ID:200903004663304004
インクジェット記録ヘッドの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
谷 義一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-010078
公開番号(公開出願番号):特開平6-286149
出願日: 1994年01月31日
公開日(公表日): 1994年10月11日
要約:
【要約】【目的】 インク吐出圧発生素子とオリフィス間の距離を極めて高い精度で短くかつ再現よく設定可能で、高品位記録が可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。【構成】 インク吐出圧力発生素子が形成された基体上に、?@溶解可能な樹脂にてインク流路パターンを形成する工程と、?A常温にて固体状のエポキシ樹脂を含む被覆樹脂を溶媒に溶解して、これを溶解可能な樹脂層上にソルベントコートすることによって、溶解可能な樹脂層上にインク流路壁となる被覆樹脂層を形成する工程と、?Bインク吐出圧力発生素子上方の被覆樹脂層にインク吐出口を形成する工程と、?C溶解可能な樹脂層を溶出する工程と、を有することを特徴とする。
請求項(抜粋):
インク吐出圧力発生素子が形成された基体上に、?@溶解可能な樹脂にてインク流路パターンを形成する工程と、?A常温にて固体状のエポキシ樹脂を含む被覆樹脂を溶媒に溶解し、これを前記溶解可能な樹脂層上にソルベントコートすることによって、前記溶解可能な樹脂層上にインク流路壁となる被覆樹脂層を形成する工程と、?B前記インク吐出圧力発生素子上方の前記被覆樹脂層にインク吐出口を形成する工程と、?C前記溶解可能な樹脂層を溶出する工程と、を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開平4-216952
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特開昭61-154947
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特開平3-184868
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