特許
J-GLOBAL ID:200903004678386490
マイクロ共振装置、マイクロフィルタ装置、マイクロ発振器および無線通信機器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
山崎 宏
, 前田 厚司
, 仲倉 幸典
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-209850
公開番号(公開出願番号):特開2006-033450
出願日: 2004年07月16日
公開日(公表日): 2006年02月02日
要約:
【課題】 基板上に集積回路の一部として組み込み可能であって、共振子を封入した後においても共振子の加工精度や封入圧力のばらつきによる変動を補償し、共振周波数を安定して再現性よく調整できるマイクロ共振装置を提供することにある。【解決手段】 この発明のマイクロ共振装置に、選択されたパラメーターの変動に応答して振動するマイクロ共振体11と、外部からの操作によって移動可能なマイクロ可動部12と、このマイクロ可動部12と上記マイクロ共振体11をつなぐ接続部13とを備え、上記マイクロ共振体11の共振周波数を調整することにより、上記マイクロ共振体11の加工精度や封入圧力のばらつきによる変動を補償する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板と、
この基板に設けられたマイクロ共振体と、
このマイクロ共振体に機械的に作用する少なくとも一つのマイクロ可動部と、
上記マイクロ共振体と上記マイクロ可動部とを接続する接続部と
を備え、
上記接続部は、上記マイクロ共振体とは異なる周波数応答特性を有していることを特徴とするマイクロ共振装置。
IPC (5件):
H03H 9/24
, B81B 3/00
, H03B 5/30
, H03H 9/54
, H03H 9/70
FI (5件):
H03H9/24 Z
, B81B3/00
, H03B5/30 Z
, H03H9/54 Z
, H03H9/70
Fターム (11件):
5J079AA01
, 5J079AA11
, 5J079BA01
, 5J079BA02
, 5J079BA03
, 5J079BA39
, 5J079BA44
, 5J079BA47
, 5J079HA22
, 5J079HA25
, 5J108AA07
引用特許:
出願人引用 (2件)
-
振動素子の周波数調整機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-115898
出願人:株式会社村田製作所
-
圧電デバイス
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-045765
出願人:富士通株式会社
審査官引用 (2件)
-
振動素子の周波数調整機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-115898
出願人:株式会社村田製作所
-
圧電デバイス
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-045765
出願人:富士通株式会社
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