特許
J-GLOBAL ID：200903004684235940
放電用電極および該放電用電極を用いた放電装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-280580
公開番号（公開出願番号）：特開2005-050627
出願日： 2003年07月28日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：
【課題】 金属電極材料が放電プラズマによって損耗し、環境中に散逸することなく、寿命の長い放電用電極を得ること、並びに化学反応性を持つガスを放電プラズマ中に導入しても、長期に亘って安定して放電を維持することのできる放電装置を提供する。【解決手段】導電材料からなる電極とセラミック等の耐熱部材の間に水を満たし、電極の表面を水が完全に覆い、電極が放電プラズマに直接接触しないように水を保持し、放電電流が水を通過することによる発熱のために、発生する水蒸気が放電空間に発散できる構成としている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
放電空間に面した耐熱部材と、放電のために電圧を印加し電流を供給するための電極とを有し、前記電極と放電空間の間には、前記電極と前記耐熱部材の両方に接触するように水を保持し、前記水が前記電極を覆い、前記電極の表面が放電空間に露出しないように、水を連続的に供給して保持するための手段と、且つ前記水及び前記水が蒸発してできる水蒸気が、放電空間に発散する経路を有することを特徴とする放電用電極。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
引用文献：
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