ガラス製大型基板熱処理用セッタ

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：池田治幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-251289
公開番号（公開出願番号）：特開平10-095637
出願日： 1996年09月24日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】基板の反りや樹脂の熱分解むらを抑制し得る大型基板熱処理用セッタおよび大型基板の熱処理方法を提供する。【解決手段】セッタ10は、上端面18が一平面20上に位置させられた複数のアタッチメント16がセッタベース12の一面14に所定の面積割合で固着されて構成され、その上端面18で基板の載置面20が構成される。そのため、基板22はセッタベース12から離隔させられると共に、アタッチメント16の上端面18のみに接触させられることから、セッタ10の熱容量の影響が低減されて熱処理温度が基板22の歪点を越える場合にも反りが生じることが抑制される。しかも、基板22の裏面側に空気の流通経路が形成されることから、予熱過程において樹脂成分の分解ガスを除去するために供給される空気の流れが基板22に沿った層流となるため、その熱分解が促進されて形成された膜中に樹脂成分が残留することが抑制される。

請求項（抜粋）：

ガラス製大型基板に熱処理を施すに際して、該大型基板が載置される熱処理用セッタであって、セラミックスから成るセッタ用基板と、該セッタ用基板の一面に所定の面積割合で固着されて上端面が所定の平坦度の一平面上に位置させられた複数の支持部材とを含み、該複数の支持部材の上端面で前記大型基板を載置するための載置面を構成することを特徴とするガラス製大型基板熱処理用セッタ。

IPC (3件)：

C03C 17/32 , G02F 1/1333 500 , H05K 3/12 610

FI (3件)：

C03C 17/32 D , G02F 1/1333 500 , H05K 3/12 610 K

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