特許
J-GLOBAL ID：200903004690386683
移動鏡支持機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-221753
公開番号（公開出願番号）：特開平10-047914
出願日： 1996年08月05日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】 測定対象物を移動させてもその上に支持されている移動鏡を位置ずれしないようにするとともに、移動鏡の反射面の変形を抑えるようにする。【解決手段】 移動鏡10は、ステージ12の凸部14の上面に形成された底面支持面32A上に水平に載置され、移動鏡10の取り付け穴18Aとその貫通孔19を介してボルト30を上方から挿入して、ボルト30の棒状部30Bをねじ穴34に螺合させて締め付け固定する。ボルト30の頭部30Aと取り付け穴18Aの底面38との間には、球面凸部48と球面凹部47とが対向配置されるとともに、その球面凹部47と底面38との間には摺動板46が配している。移動鏡10を支持する底面支持面32Aは、測定方向(矢印A方向)の両端部から中央部に行くに従って徐々に高さが高くなるような凸状面36とされている。
請求項（抜粋）：
干渉計の一部を構成する断面矩形の移動鏡を測定対象物上に計測方向に直交して支持する移動鏡支持機構であって、前記移動鏡を上方から前記測定対象物上の移動鏡取り付け面にそれぞれ固定する少なくとも2つの固定具を有し、前記固定具を用いて前記移動鏡を前記測定対象物上に固定する固定位置が前記移動鏡の計測面の使用範囲外に設けられていることを特徴とする移動鏡支持機構。
IPC (4件)：
G01B 9/02
, G01B 11/00
, G03F 9/00
, H01L 21/027
G01B 9/02
, G01B 11/00 G
, G03F 9/00 H
, H01L 21/30 515 Z
