特許
J-GLOBAL ID：200903004690632870
マスクブランク導通機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-119150
公開番号（公開出願番号）：特開平9-306808
出願日： 1996年05月14日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：
【要約】【課題】 マスクブランク1を電子ビーム描画装置の試料ステージ10にセットする際、マスクブランク1に撓みを生じさせることなく、マスクブランク1の表面側に形成された金属薄膜蒸着面2にアースを接続すること。【解決手段】 本発明のマスクブランク導通機構30は、下部クランプ片37Aと上部クランプ片37Bとを備え、マスクブランク1の縁部付近を上下から挟み込むことによりマスクブランク1に固定されるクランプ31と、上部クランプ片37Bの内側にバネ42を介して取り付けられ、前記クランプ31でマスクブランク1の縁部付近を挟んだ時に、マスクブランク1の縁部の表面側の面取り部1aに食い込む様に配置されたナイフエッジ38と、マスクブランク1の表面に平行な面内で旋回する旋回アーム32とを備え、前記クランプ31は旋回アーム32の先端に取り付けられている。
請求項（抜粋）：
マスクブランクを電子ビーム描画装置の試料ステージにセットする際に、マスクブランクの表面側に形成された金属薄膜蒸着面にアースを接続するマスクブランク導通機構において、上部クランプ片と下部クランプ片とを備え、マスクブランクの縁部付近を表面及び裏面から挟むことによりマスクブランクに固定されるクランプと、前記上部クランプ片に隣接し、かつ前記下部クランプ片に対向して揺動可能に取り付けられ、バネによりマスクブランクの縁部の表面側の面取り部に食い込む様に配置されたナイフエッジと、を備えたことを特徴とするマスクブランク導通機構。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/30 541 Z
, G21K 5/04 M
, H01L 21/30 541 L
