特許

J-GLOBAL ID：200903004695762888

基板研削システム

発明者： 橋本 誠
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-161209
公開番号（公開出願番号）：特開平10-006191
出願日： 1996年06月21日
公開日（公表日）： 1998年01月13日
要約：

【要約】【課題】 研削加工精度に大きな影響を与える軸心角度の調整作業が煩雑で時間のかかるものとなっていた。【解決手段】 ウエハ5を保持するチャック部6と、チャック部6に保持されたウエハ5を研削するための研削砥石部7と、研削砥石部7をスピンドル軸8を介して回転駆動する回転駆動部9と、スピンドル軸8の軸心角度を調整する角度調整ボルト10とを有する研削加工部1を備えた基板研削システムであり、角度調整ボルト10により調整された軸心角度を計測する角度計測手段12と、同軸心角度に対応する研削後の基板形状を測定する形状測定部2と、角度計測手段12によって計測された軸心角度の計測データと形状測定部12によって測定された研削後の基板形状データとを順次記憶する記憶部16と、記憶部16に記憶蓄積された軸心角度の計測データと研削後の基板形状データとの相関から、所定の基板形状に対応する軸心角度の設定データを算出する演算部15とを具備する。

請求項（抜粋）：

被加工基板を保持するチャック部と、このチャック部に保持された被加工基板を研削するための研削砥石部と、この研削砥石部をスピンドル軸を介して回転駆動する回転駆動部と、前記スピンドル軸の軸心角度を調整する調整手段とを有する研削加工部を備えた基板研削システムであって、前記調整手段によって調整された軸心角度を計測する角度計測手段と、前記調整手段によって調整された軸心角度に対応する研削後の基板形状を測定する形状測定手段と、前記角度計測手段によって計測された前記軸心角度の計測データと前記形状測定手段によって測定された前記研削後の基板形状データとを順次記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶蓄積された前記軸心角度の計測データと前記研削後の基板形状データとの相関から、所定の基板形状に対応する軸心角度の設定データを算出する演算手段とを具備したことを特徴とする基板研削システム。

IPC (3件)：

B24B 1/00 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304 331

FI (3件)：

B24B 1/00 A ,  H01L 21/304 321 E ,  H01L 21/304 331