特許
J-GLOBAL ID：200903004707655128
レーザ光を用いたスケール
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-266987
公開番号（公開出願番号）：特開平11-108693
出願日： 1997年09月30日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 経時変化や使用環境の影響を受けない超高精度のスケールを提供する。【解決手段】 構造体10の長手方向に目盛り12を設け、密閉中空部に光波干渉計を設置する。また、密閉中空部の内壁に構造体10を加熱する電気抵抗体14を設ける。ビームスプリッタ16やコーナキューブ18を有する光波干渉計で構造体10の目盛り12部分の長さを測定し真値とする。真値と公称値との差異が存在する場合、真値を公称値に一致させるべく電流制御部24と可制御電源22を用いて電気抵抗体14に電流を供給し構造体10を加熱膨張せしめる。構造体10の温度制御により真値と公称値を一致させ、経時変化や使用環境の影響を排除する。
請求項（抜粋）：
長手方向に沿って均一な熱膨張をもたらし、かつ、ほぼ真空状態に減圧された密閉中空部を有する構造体と、前記構造体の外壁に設けられる目盛りと、前記密閉中空部に設けられ、前記目盛りが設けられた部分の長さを測定する光波干渉計と、前記光波干渉計で測定された長さに基づいて前記構造体の温度を変化させる温度制御手段と、を有することを特徴とするレーザ光を用いたスケール。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G01D 5/34 V
, G01B 11/00 G
, G01D 5/34 D
, G01D 5/34 G
