特許

J-GLOBAL ID：200903004707834456

電極シートおよびその製造方法

発明者： 吉田 陽 ,  北岡 幸喜 ,  迫田 直樹
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (3件)： 西教 圭一郎 ,  杉山 毅至 ,  廣瀬 峰太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-296425
公開番号（公開出願番号）：特開2004-134183
出願日： 2002年10月09日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：

【課題】容易に製造することができ、シートから脱落しにくい導電性部材を備える電極シートを提供する。【解決手段】電極シート10は、シート状の絶縁性部材11と、絶縁性部材11を厚み方向に貫通するように設けられる導電性部材12とを含んで構成される。電極シート10の導電性部材12は、絶縁性部材11の表裏面に平行な断面に関し、絶縁性部材11の厚み方向内方における断面積が、絶縁性部材11の表裏面付近における断面積よりも大きくなるように形成されるので、絶縁性部材11から脱落することがない。したがって、電極シート10を半導体部品製造における電気的接続部材として使用するとき、電気的接続の信頼性を高めることが可能である。【選択図】 図1

請求項１：

シート状の絶縁性部材と、絶縁性部材を厚み方向に貫通するように設けられる導電性部材とを含む電極シートにおいて、 前記導電性部材は、 前記絶縁性部材の表裏面に平行な断面に関し、前記絶縁性部材の厚み方向内方における断面積が、前記絶縁性部材の表裏面付近における断面積よりも大きくなるように形成されることを特徴とする電極シート。

IPC (3件)：

H01B5/16 ,  H01B13/00 ,  H01R11/01

FI (3件)：

H01B5/16 ,  H01B13/00 501P ,  H01R11/01 501H

Fターム (3件)：

5G307HA02 ,  5G307HB03 ,  5G307HC01