特許

J-GLOBAL ID：200903004712957981

スキャナ及び走査形プローブ顕微鏡。

発明者： 青木 進
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-375305
公開番号（公開出願番号）：特開2005-140568
出願日： 2003年11月05日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：

【課題】チューブスキャナにおいて、走査スピードをより早くし、かつ、小形化することである。また、小形化されたチューブスキャナを走査形プローブ顕微鏡に用いることにより、走査形プローブ顕微鏡を小形化することである。【解決手段】円筒形状の圧電素子と、前記圧電素子の長手方向を隔てる節と、前記節を挟んで両側の前記圧電素子にそれぞれ電圧を印加する電圧印加手段と、を備えるチューブスキャナ。また、試料と、前記試料に対向する探針と、前記試料と前記探針を相対的に2次元走査すると共に、試料と探針との間の距離を変化させるチューブスキャナと、を備え、前記探針と前記試料との間に作用する物理量により検出される信号に基づいて像を表示する走査形プローブ顕微鏡において、チューブスキャナが前記チューブスキャナであることを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。【選択図】 図2

請求項１：

円筒形状の圧電素子と、 前記圧電素子の長手方向を隔てる節と、 前記節を挟んで両側の前記圧電素子にそれぞれ電圧を印加する電圧印加手段と、 を備えるチューブスキャナ。

IPC (4件)：

G01N13/10 ,  G01B21/30 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187

FI (6件)：

G01N13/10 C ,  G01N13/10 B ,  G01B21/30 ,  H01L41/08 U ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101D

Fターム (11件)：

2F069AA60 ,  2F069AA66 ,  2F069DD27 ,  2F069GG01 ,  2F069GG52 ,  2F069GG56 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ07 ,  2F069JJ14 ,  2F069MM04 ,  2F069MM32