特許

J-GLOBAL ID：200903004714790685

アライメントマーク及びこれを用いた液晶素子とその製造方法

発明者： 高野 勝彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-268423
公開番号（公開出願番号）：特開平11-109656
出願日： 1997年10月01日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】 液晶素子の製造工程において、カラーフィルタと透明導電膜の位置合わせ、或いはカラーフィルタ基板と対向基板との位置合わせに、目視による観察によって位置合わせの合否判定が可能なアライメントマークを提供する。【解決手段】 幅が規格値に等しい枠状のアライメントマーク1と、該アライメントマークの内側に内接する円形であるアライメントマーク2とを組み合わせて用いる。

請求項（抜粋）：

複数の平面パターンを位置合わせする際に用いられるアライメントマークであって、一方のアライメントマークが中抜きの枠状であり、他方のアライメントマークが上記マークの内側に部分的に接して内包される形状を有し、上記枠状のマークの枠の幅が当該位置合わせの規格値と等しいことを特徴とするアライメントマーク。

IPC (5件)：

G03F 9/00 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/13 101 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 9/00 Z ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/13 101 ,  G03F 1/08 N ,  H01L 21/30 502 M ,  H01L 21/30 506 B