特許

J-GLOBAL ID：200903004724437134

アルミニウムの研磨用組成物

発明者： 児 玉 一 志 ,  伊 東 真 時 ,  鈴 村 聡
出願人/特許権者： 株式会社フジミインコーポレーテッド
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-320639
公開番号（公開出願番号）：特開平10-158634
出願日： 1996年12月02日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：

【要約】【課題】 アルミニウム膜の研磨速度が大きく、スクラッチおよび、ディッシングの発生が少なく、適度な選択比およびその他の基本的な研磨性能を有し、かつ保存時の経時変化が小さくて安定性が良好である、アルミニウム膜の研磨用組成物の提供。【解決手段】 二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化セリウム、窒化ケイ素、および酸化ジルコニウムからなる群より選ばれる研磨材および水を含んでなるアルミニウム膜の研磨用組成物であって、さらにこの組成物中に溶存している鉄(III)化合物を含んでなることを特徴とする、アルミニウム膜の研磨用組成物。

請求項（抜粋）：

二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化セリウム、窒化ケイ素、および酸化ジルコニウムからなる群より選ばれる研磨材および水を含んでなるアルミニウム膜の研磨用組成物であって、さらにこの組成物中に溶存している鉄(III)化合物を含んでなることを特徴とする、アルミニウム膜の研磨用組成物。

IPC (4件)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321

FI (4件)：

C09K 3/14 550 Z ,  C09K 3/14 550 D ,  B24B 37/00 H ,  H01L 21/304 321 P