特許
J-GLOBAL ID：200903004724710809
エフェクトピグメントを含む表面を検査する方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山本 秀策
, 安村 高明
, 森下 夏樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-267226
公開番号（公開出願番号）：特開2008-096444
出願日： 2007年10月12日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：
【課題】表面を検査する方法および装置を提供すること。【解決手段】表面の特性を検査する方法であって、第1の所定の放出角(α1)で、検査される表面(9)上に放射を放出するステップと、第1の受信角(β1)で、第1の放出角(α1)で放出されて、検査される表面(9)から反射された、放射の少なくとも一部分を受信し、受信された放射の特徴である複数の第1の測定値を出力するステップと、第2の所定の放出角(α2)で、検査される表面(9)上に放射を放出するステップと、第2の受信角(β2)で、第2の放出角(α2)で放出されて、検査される表面(9)から反射された、放射の少なくとも一部分を受信し、受信された放射の特徴である複数の第2の測定値を出力するステップと、第1の測定値と第2の測定値との間の比較を実行するステップと、を包含する、方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
表面の特性を検査する方法であって、
第1の所定の放出角(α1)で、検査される表面(9)上に放射を放出するステップと、
第1の受信角(β1)で、該第1の放出角(α1)で放出されて、検査される該表面(9)から反射された、該放射の少なくとも一部分を受信し、受信された該放射の特徴である複数の第1の測定値を出力するステップと、
第2の所定の放出角(α2)で、検査される該表面(9)上に放射を放出するステップと、
第2の受信角(β2)で、該第2の放出角(α2)で放出されて、検査される該表面(9)から反射された、該放射の少なくとも一部分を受信し、受信された該放射の特徴である複数の第2の測定値を出力するステップであって、少なくとも該放出角(α1,α2)または該受信角(β1,β2)は異なっている、ステップと、
該第1の測定値と該第2の測定値との間の比較を実行するステップと
を包含する、方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
2G051AA90
, 2G051AB10
, 2G051AB20
, 2G051BB01
, 2G051CA06
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CB05
, 2G051EC02
, 2G051EC03
