特許

J-GLOBAL ID：200903004733495970

電気粘性流体を用いた制振装置及び制振方法

発明者： セパシィ ザマティ モハマド サイド
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-279947
公開番号（公開出願番号）：特開2002-089620
出願日： 2000年09月14日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】 電気粘性流体への電圧印加を制御して被制振物体の効果的な制振を行い、被制振物体と基台との間の相対振幅が小さい微小振動に対しても有効に制振作用が発揮されるようにする。【解決手段】 被制振物体30はばね要素21を介して基台20に結合されており、被制振物体30に取り付けられた上方電極板43及び基台20に取り付けられた下方電極板44が各々面内方向に移動自在なように対向配設されたうえで、これら両電極板43,44の間に分散系の電気粘性流体45が満たされた制振器本体40が設置される。制御装置60はリレー72を介してスイッチ71を作動させ、両電極板43,44間に電圧を与えて電気粘性流体45に電場を印加する。制御装置60は検出器51,52により検出された被制振物体30及び基台20それぞれの移動速度V1,V2からその相対速度V12=V1-V2を求め、被制振物体30と基台20との相対速度が所定値ε以下となっているときには電場の印加を停止させるようにする。

請求項（抜粋）：

基台と結合された被制振物体の前記基台に対する振動を抑制する制振装置であって、前記被制振物体に取り付けられた第1の電極板及び前記基台に取り付けられた第2の電極板が各々面内方向に移動自在なように対向配設されるとともに、これら両電極板の間に電気粘性流体が満たされてなる制振器本体と、前記被制振物体と前記基台との相対速度を検出する相対速度検出手段と、前記両電極板間に電圧を与えて前記電気粘性流体に電場を印加するとともに、前記相対速度検出手段により検出された前記被制振物体と前記基台との相対速度が所定値以下となっているときに前記電場の印加を停止させる制御を行う電場印加制御手段とを備えたことを特徴とする制振装置。

IPC (4件)：

F16F 15/027 ,  F16F 15/02 ,  F16F 15/03 ,  G05D 19/02

FI (4件)：

F16F 15/027 ,  F16F 15/02 A ,  F16F 15/03 H ,  G05D 19/02 D

Fターム (6件)：

3J048AB09 ,  3J048AC05 ,  3J048AC08 ,  3J048BE05 ,  3J048DA01 ,  3J048EA38