特許
J-GLOBAL ID：200903004734816443
原子間力顕微鏡及び情報処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-257196
公開番号（公開出願番号）：特開平5-071951
出願日： 1991年09月10日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【目的】 光てこ方式の原子間力顕微鏡において、レーザー光の反射ビームが拡散するのを防止し、検出精度,感度の向上を図る。【構成】 光てこ方式の原子間力顕微鏡において、試料表面の形状を測定するためのプローブ103がヒンジ106により支持された光反射平板105の一端部に設けられ、原子間力にて上下動する該プローブ103の移動により生じる、ヒンジ部106のねじれ角に対応した光反射平板105の回転角により、試料表面の形状変化を検出する原子間力顕微鏡を特徴とする。
請求項（抜粋）：
光てこ方式の原子間力顕微鏡において、試料表面の形状を測定するためのプローブがヒンジにより支持された光反射平板の一端部に設けられ、原子間力にて上下動する該プローブの移動により生じる、ヒンジ部のねじれ角に対応した光反射平板の回転角により、試料表面の形状変化を検出する構成を特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (2件)：
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