感光性重合体組成物及びその製造法、パターンの製造法並びに電子部品

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-115613
公開番号（公開出願番号）：特開2000-305269
出願日： 1999年04月23日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】感光性重合体の加工プロセスへの適用が可能で、段差平坦性と微細な溝状パターンの埋込性が良好な感光性重合体組成物及び感光性重合体組成物の製造法、パターンの製造法並びに信頼性に優れる電子部品を提供する。【解決手段】 (a)下記一般式(I)で表される繰り返し単位を有するポリイミド前駆体及び(b)炭素-炭素二重結合を有するアミン化合物を含有してなる感光性重合体組成物、溶剤中で、四塩基酸二無水物に、アルキルアルコール及び/又はアルコール誘導体を加えて加熱し、四塩基酸二無水物の一部又は全部を四塩基酸のジエステルとした後、カルボキシル基及び/又はフェノール性水酸基を持つジアミン化合物を含むジアミンを反応させてポリイミド前駆体を製造し、炭素-炭素二重結合を有するアミン化合物を混合することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

(a)一般式(I)【化1】(式中、R1は4価の有機基を示し、R2及びR3は各々独立に水素原子又はアルキル基を示し、R4は3価以上の有機基を示し、R5はカルボキシル基及び/又はフェノール性水酸基を示し、nは1以上の整数である)で表される繰り返し単位を有するポリイミド前駆体及び(b)炭素-炭素二重結合を有するアミン化合物を含有してなる感光性重合体組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/037 501 , C08F 2/44 , C08F 2/48 , C08F 20/34 , C08G 73/10 , C08L 79/04 , G03F 7/027 501 , G03F 7/028 , G03F 7/40 501

FI (9件)：

G03F 7/037 501 , C08F 2/44 C , C08F 2/48 , C08F 20/34 , C08G 73/10 , C08L 79/04 Z , G03F 7/027 501 , G03F 7/028 , G03F 7/40 501

Fターム (78件)：

2H025AA00 , 2H025AA02 , 2H025AA20 , 2H025AB16 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC32 , 2H025BC69 , 2H025BC83 , 2H025BC85 , 2H025BC86 , 2H025BC87 , 2H025BJ10 , 2H025CA00 , 2H025FA29 , 2H096AA25 , 2H096AA30 , 2H096BA06 , 2H096EA02 , 2H096HA01 , 4J002CM041 , 4J002EN026 , 4J002EQ037 , 4J002FD146 , 4J002FD147 , 4J002GQ05 , 4J011PA97 , 4J011PB40 , 4J011PC02 , 4J011PC08 , 4J011QA07 , 4J011QA08 , 4J011QA38 , 4J011RA12 , 4J011SA80 , 4J011UA01 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J043PA02 , 4J043PC075 , 4J043QB15 , 4J043QB24 , 4J043QB31 , 4J043RA05 , 4J043SA06 , 4J043SA62 , 4J043SA71 , 4J043SB01 , 4J043TA12 , 4J043TA33 , 4J043TB01 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA262 , 4J043UB011 , 4J043UB051 , 4J043UB301 , 4J043VA021 , 4J043VA022 , 4J043WA07 , 4J043XA14 , 4J043XA19 , 4J043ZA06 , 4J043ZA12 , 4J043ZB22 , 4J043ZB50 , 4J100AL08P , 4J100AN05P , 4J100BA16P , 4J100BA31P , 4J100BC43P , 4J100CA01 , 4J100FA03 , 4J100FA18 , 4J100JA38

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