特許
J-GLOBAL ID：200903004735450817

石英ガラス及び石英ガラス治具並びにそれらの製造方法

発明者：
佐藤 龍弘

佐藤 龍弘 について

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吉田 宜正

吉田 宜正 について

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藤ノ木 朗

藤ノ木 朗 について

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上田 哲司

上田 哲司 について


出願人/特許権者：
信越石英株式会社

信越石英株式会社 について


代理人 (1件)： 石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-008081
公開番号（公開出願番号）：特開2002-220257
出願日： 2001年01月16日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：
【要約】【課題】 半導体製造に用いられるプラズマ反応用治具材料として、プラズマ耐食性、特にF系プラズマガスに対する耐食性に優れた石英ガラス及び石英ガラス治具並びにそれらの製造方法を提供する。【解決手段】 2種類以上の金属元素を併せて0.1〜20wt%含有する石英ガラスであって、該金属元素が周期律表第3B族の1種類である第1の金属元素と、Zr、Y、ランタノイド及びアクチノイドからなる群から選ばれた少なくとも1種類である第2の金属元素からなるようにした。
請求項（抜粋）：
2種類以上の金属元素を併せて0.1〜20wt%含有する石英ガラスであって、該金属元素が周期律表第3B族の1種類である第1の金属元素と、Zr、Y、ランタノイド及びアクチノイドからなる群から選ばれた少なくとも1種類である第2の金属元素からなることを特徴とする石英ガラス。
IPC (4件)：
C03C 3/095 ,  C03B 20/00 ,  C03C 3/06 ,  H01L 21/3065
FI (6件)：
C03C 3/095 ,  C03B 20/00 A ,  C03B 20/00 F ,  C03B 20/00 G ,  C03C 3/06 ,  H01L 21/302 B
Fターム (88件)：
4G014AG01 ,  4G014AG04 ,  4G014AH01 ,  4G014AH02 ,  4G062AA18 ,  4G062BB02 ,  4G062CC01 ,  4G062CC04 ,  4G062DA07 ,  4G062DA08 ,  4G062DB01 ,  4G062DB02 ,  4G062DB03 ,  4G062DB04 ,  4G062DC01 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FA10 ,  4G062FB01 ,  4G062FC01 ,  4G062FC02 ,  4G062FC03 ,  4G062FC04 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FJ02 ,  4G062FJ03 ,  4G062FJ04 ,  4G062FK01 ,  4G062FK02 ,  4G062FK03 ,  4G062FK04 ,  4G062FL01 ,  4G062FL02 ,  4G062FL03 ,  4G062FL04 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH16 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK02 ,  4G062KK03 ,  4G062KK04 ,  4G062KK05 ,  4G062KK06 ,  4G062KK07 ,  4G062KK08 ,  4G062KK10 ,  4G062MM17 ,  4G062MM27 ,  4G062NN34 ,  4G062NN35 ,  5F004AA16 ,  5F004BB29 ,  5F004DA00
引用特許：
審査官引用 (4件)
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