特許
J-GLOBAL ID：200903004738474911
ポジ型感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-066664
公開番号（公開出願番号）：特開平9-258435
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】 光感度が高く、優れたレジストパターンが得られ、露光後経時での変化の少ないポジ型感光性組成物を提供できる。【解決手段】 酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂及び活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する特定化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
請求項（抜粋）：
酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂、及び活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する下記一般式(I)または(II)で表される化合物、を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式中、R1 〜R5 は各々独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、又は-S-R6 基を示す。R6 はアルキル基又はアリール基を示す。X- は、R7 -CO-基、R8 -CONH-基、R9 -NHCO-基、R10-OCONH-基、R11-NHCOO-基、R12-NHCONH-基、R13-NHCSNH-基、R14-SO2 NH-基及びニトロ基の群の中から選択される基を少なくとも1個有するベンゼンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸又はアントラセンスルホン酸のアニオンを示す。R7 は水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アラルキル基又はアリール基を示す。R8 〜R14は各々独立に、アルキル基、シクロアルキル基、アラルキル基又はアリール基を示す。
IPC (5件)：
G03F 7/004 503
, G03F 7/004 501
, C09K 3/00
, G03F 7/039 501
, H01L 21/027
G03F 7/004 503
, G03F 7/004 501
, C09K 3/00 Z
, G03F 7/039 501
, H01L 21/30 502 R
