特許
J-GLOBAL ID：200903004743464290
面発光レーザおよびその製造方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-279010
公開番号（公開出願番号）：特開2005-045107
出願日： 2003年07月24日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：
【課題】 簡単な構成で無効電流を低減して特性および信頼性を向上させることができる面発光レーザおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 基板11に、n側多層反射膜12,活性層13,電流狭窄層14,p側多層反射膜15がこの順に積層された略円柱状のメサ領域10が形成されている。メサ領域10と、その周囲の外部領域30とは、溝20に設けられた橋桁部40によって連結されている。第2多層反射膜15の上には、エッチングストップ層16およびコンタクト層17が順に積層されている。コンタクト層17は、外部領域30および橋桁部40を回避してメサ領域10に形成されている。コンタクト層17を橋桁部40に設けないようにすることにより、コンタクト層17および橋桁部40を介して電流が外部領域30へと漏れ出すのを確実に抑制することができる。【選択図】 図1
請求項１：
基板に第1多層反射膜、活性層および第2多層反射膜が順に積層されたメサ領域と、
溝を隔てて前記メサ領域を取り囲む外部領域と、
前記溝に設けられ前記メサ領域と前記外部領域とを連結する橋桁部と、
前記外部領域および前記橋桁部を回避して前記メサ領域に形成されたコンタクト層と
を備えたことを特徴とする面発光レーザ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S5/042 614
, H01S5/183
5F073AA53
, 5F073AA89
, 5F073AB17
, 5F073BA02
, 5F073BA05
, 5F073BA07
, 5F073CA04
, 5F073CB02
, 5F073DA23
, 5F073DA27
, 5F073EA23
, 5F073EA29
