特許
J-GLOBAL ID：200903004747665584
プラズマディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネルの製造方法及び装置、並びに透明電極基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-226327
公開番号（公開出願番号）：特開2001-052602
出願日： 1999年08月10日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 製造工程が少なくかつ簡素で小型の製造設備を実現できる、プラズマディスプレイパネル製造方法及び製造装置を提供する。【解決手段】 前面ガラス基板16上に透明電極用薄膜44を設け、レーザビーム64を薄膜上に連続的に所定の間隔をあけて照射する。すると、レーザビーム64のライン状照射領域間に薄膜が残され、残された薄膜が透明電極18となる。レーザビーム64の断面形状は、マスク66により制限される。マスク66はビーム走行軸を軸として回転して様々な向きをとる。制御手段84が、レーザ64の出射のタイミングと、マスク66の向きと、前面ガラス基板16の移動とを制御するため、様々な形状の透明電極18を形成することができる。
請求項（抜粋）：
前面基板と該前面基板との間に所定の間隔をあけて略平行に配置された背面基板とを有し、背面基板に対向する前面基板の背面上に、順次、第1の方向に略平行に伸びる複数の透明電極と、各透明基板の背面上を透明電極と平行に伸びるバス電極と、これら透明電極とバス電極とを被覆する誘電体層と、誘電体層を被覆する保護膜とを設け、前面基板に対向する背面基板の前面上に、第1の方向に略直交する第2の方向に平行に伸びる複数のデータ電極と、隣接するデータ電極の間にデータ電極と平行に伸びる隔壁と、隣接する隔壁の間に設けられた蛍光体とを設けたプラズマディスプレイパネルにおいて、前面基板の背面上の所定領域に透明電極用薄膜を形成し、この透明電極用薄膜に、レーザ発振器から周期的に出射されるレーザビームを照射して透明電極を形成する工程に、(a) レーザビームの横断面よりも小さな開口部を有し、この開口部の中心を通る垂直な軸の周りを回転可能な整形プレートに対し、その開口部がレーザビームの横断面に含まれるように該レーザビームを当て、開口部により制限された横断面形状を有する整形後レーザビームを出射する工程と、(b) 整形後レーザビームのレーザスポットを透明電極薄膜上に連続して照射し、第1の方向に伸びる第1の長溝を形成する工程と、(c) 工程(b)の終了後、整形プレートを回転して整形後レーザビームのレーザスポットを、第1の方向と所定角度をなす第2の方向に方向付け、次に、レーザビームに対して透明電極用薄膜を第2の方向に移動すると共に、整形後レーザビームのレーザスポットを透明電極薄膜上に連続して照射し、第1の長溝に連続して第2の長溝を形成する工程とを含む、プラズマディスプレイパネルの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
5C027AA01
, 5C040FA01
, 5C040FA04
, 5C040GB03
, 5C040GB14
, 5C040GC19
, 5C040JA11
, 5C040JA40
, 5C040MA25
, 5C040MA26
