特許

J-GLOBAL ID：200903004751646659

シャドウマスクの製造方法

発明者： 前岡 淳史 ,  深川 弘隆
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-198438
公開番号（公開出願番号）：特開平9-045238
出願日： 1995年08月03日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【課題】形状不良、および、孔径不良の開口が生じないスロット型シャドウマスクの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】フォトエッチング法を用いたスロット型シャドウマスクの製造方法において、エッチング時上面となるシャドウマスク材面へのパターン露光に用いるパターンマスクの長方形パターンを、金属素材搬送方向左右の端部側に行くに従い、金属素材搬送方向左右の端部側の短辺の長さを逐次大きくし、略等脚台形状のパターンとすることを特徴とするスロット型シャドウマスクの製造方法。

請求項（抜粋）：

所定の配列に従って長方形パターンが多数形成された小孔および大孔用のパターンマスクを用い、前記長方形パターンの長辺が、両面に感光性樹脂層を形成した長尺帯状の金属素材搬送方向と直角をなすよう前記金属素材の両面にパターン露光を行う工程と、前記金属素材に現像を行い、一部金属素材面を露出したレジスト膜を前記金属素材に形成する工程と、水平方向に搬送される前記金属素材の両面よりエッチングを行い、前記レジスト膜より露出した金属素材部位を溶解除去し、金属素材を貫通する開口を形成するエッチング工程と、前記レジスト膜を剥膜する工程と、前記金属素材を適当なる大きさに断裁する工程とを少なくとも有するスロット型シャドウマスクの製造方法において、前記エッチング工程の際に上面となる金属素材面にパターン露光を行う前記パターンマスクの長方形パターンを、金属素材搬送方向左右の端部側に行くに従い、金属素材搬送方向左右の端部側の短辺の長さを逐次大きくし、略等脚台形状のパターンとすることを特徴とするスロット型シャドウマスクの製造方法。

IPC (2件)：

H01J 9/14 ,  C23F 1/00

FI (2件)：

H01J 9/14 G ,  C23F 1/00 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-047039
  
• 特開昭51-142268
  
• 特開昭61-051730