無機物質含有高感度感光性レジストおよび高感度ドライフィルムレジスト

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-005409
公開番号（公開出願番号）：特開平10-207046
出願日： 1997年01月16日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】無機物質を含む感光性材料のパターニングを容易にする高感度感光性レジストおよび高感度ドライフィルムレジストを提供することにある。【解決手段】少なくとも基板10と感光層20とから成るパターン形成可能な無機物質含有感光性レジストにおいて、該感光層が2層から成り、前記2層の感光層が基板10上に無機物質を含む第1感光層22と無機物質を含まない第2感光層24の順に積層して成ることを特徴とする無機物質高感度感光性レジストとしたものであり、この原理を応用した無機物質含有高感度ドライフィルムレジストとしたものである。

請求項（抜粋）：

少なくとも基板(10)と感光層(20)とから成るパターン形成可能な無機物質含有感光性レジストにおいて、該感光層が2層から成り、前記2層の感光層が基板(10)上に無機物質を含む第1感光層(22)と無機物質を含まない第2感光層(24)の順に積層して成ることを特徴とする無機物質含有高感度感光性レジスト。

IPC (2件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/26 511

FI (2件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/26 511

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