特許
J-GLOBAL ID:200903004753395912

ダイコーター

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-123315
公開番号(公開出願番号):特開平11-314060
出願日: 1998年05月06日
公開日(公表日): 1999年11月16日
要約:
【要約】【課題】 精度が高く、薄膜均一塗布を可能とするダイコーターを提供する事。【解決手段】 (1)塗布液を一時的に貯溜する塗布液溜部と、前記塗布液溜部と連通して塗布液が流出するスリットとを構成する2つのバー部材を有し、前記スリットの塗布液入口間隙d1とスリットの塗布液出口間隙d2との関係が、スリット入口間隙d1>スリット出口間隙d2であるダイコーターであり、かつ、少なくとも一方の前記バー部材は、スリット出口部スリット面と前記2つのバーどうしの接合面とが平行平面であり、かつ、前記平行平面に対して平行な外側面を有する事を特徴とするダイコーター。(2)前記一方のバー部材と組み合わされる他方のバー部材の、スリット出口部スリット面および/または前記接合面と外側面の一部とが平行面である(1)に記載のダイコーター。
請求項(抜粋):
塗布液を一時的に貯溜する塗布液溜部と、前記塗布液溜部と連通して塗布液が流出するスリットとを構成する2つのバー部材を有し、前記スリットの塗布液入口間隙d1とスリットの塗布液出口間隙d2との関係が、スリット入口間隙d1>スリット出口間隙d2であるダイコーターであり、かつ、少なくとも一方の前記バー部材は、スリット出口部スリット面と前記2つのバーどうしの接合面とが平行平面であり、かつ、前記平行平面に対して平行な外側面を有する事を特徴とするダイコーター。
IPC (2件):
B05C 5/02 ,  B05C 5/00 101
FI (2件):
B05C 5/02 ,  B05C 5/00 101

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