レジスト塗布装置および塗布方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森本義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-109870
公開番号（公開出願番号）：特開平8-306614
出願日： 1995年05月09日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】基板上にレジストを塗布する際にレジストを均一かつレジストの使用量を無駄無く使用することができるレジスト塗布装置を提供する。【構成】基板12をテーブル13上に固定し、その上方にレジストをミスト化して吹き出すレジスト吹き付けノズル16を設け、アーム19により前記レジスト吹き出しノズル16を基板12に対して水平方向に移動させながら基板12にレジスト溶液16を吹き付けてレジストを塗布するレジスト塗布装置の構成とする。

請求項（抜粋）：

基板の保持手段と、前記基板の上方に位置してレジストをミスト化して吹き出すノズルよりなり、前記基板とノズルのいずれか一方を水平方向に自由に可動するように構成したことを特徴とするレジスト塗布装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/16 501

FI (2件)：

H01L 21/30 564 C , G03F 7/16 501

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