特許

J-GLOBAL ID：200903004760612597

アルミニウム含有層のエッチング方法

発明者： フイリンダー-ジン グレーワル ,  ジークフリート シユワルツル
出願人/特許権者： シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 富村 潔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-286768
公開番号（公開出願番号）：特開平5-195259
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1993年08月03日
要約：

【要約】【目的】 製造が容易であり、エッチング終了点の調整を良好に行い得るアルミニウム含有層のエッチング方法を提供する。【構成】 アルミニウム含有層5を反応室1中でプラズマに曝す。プラズマはHClガス及びN2 ガスを含有するガス混合物から形成される。反応室1は少なくとも6.67Pa(50mトル)の圧力下にある。

請求項（抜粋）：

アルミニウム含有層のエッチング方法において、-アルミニウム含有層(5)を反応室(1)中でプラズマに曝し、-そのプラズマがHClガス及びN2ガスを含むガス混合物から形成されており、-反応室(1)内は少なくとも6.67Pa(50mトル)の圧力下にあることを特徴とするアルミニウム含有層のエッチング方法。