基板接合装置及びシール剤塗布用ノズル

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-329208
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160721
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】2枚の基板を所定間隔をもって接合する際に、生産効率を向上させることができる基板接合装置を提供すること。【解決手段】円板状に形成されカラーフィルタ基板Fを固定する基板固定部70を複数有する回転ステージ21と、回転ステージ21をその軸心線回りに所定方向に回転駆動する駆動部22と、基板固定部70にカラーフィルタ基板Fとアレイ基板Aとを積層して供給される基板受け渡し部30と、カラーフィルタ基板Fに対しアレイ基板Aを位置合わせする基板位置合わせ部40と、カラーフィルタ基板Fとアレイ基板Aとの加圧を行う基板加圧部50と、シール剤Sに紫外線を照射する紫外線照射部60とを備えるようにした。

請求項（抜粋）：

相対向する第1基板と第2基板とをこれら基板の間隙に配置されたスペーサにより所定間隔を維持した状態で紫外線硬化型のシール剤を介して重ね合わせ上記シール剤を硬化して接合する基板接合装置において、円板状に形成され上記第1基板を固定する固定部を複数有するステージと、このステージをその軸心線回りに所定方向に回転駆動する駆動部と、上記固定部に上記第1基板と上記第2基板とを積層して供給する基板供給部と、この基板供給部と上記ステージの周方向に沿って所定距離離間して配置され、上記固定部に固定された上記第1基板に対し上記第2基板を位置合わせする基板位置合わせ部と、この基板位置合わせ部の上記ステージの周方向に沿って配置され、上記第1基板と上記第2基板との加圧を行う基板加圧部と、この基板加圧部と上記ステージの周方向に沿って所定距離離間して配置され、上記シール剤に紫外線を照射する紫外線照射部とを備えていることを特徴とする基板接合装置。

IPC (2件)：

G02F 1/1339 505 , G09F 9/30

FI (2件)：

G02F 1/1339 505 , G09F 9/30 C

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