特許
J-GLOBAL ID:200903004764003722

多層磁気抵抗効果膜および磁気ヘッド

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-041579
公開番号(公開出願番号):特開平8-235540
出願日: 1995年03月01日
公開日(公表日): 1996年09月13日
要約:
【要約】【目的】簡便な装置で、高磁気抵抗効果特性を示す多層磁気抵抗効果膜を作成する。【構成】多層膜と基板との間に3d遷移金属元素の酸化物からなるバッファ層を形成し、これにより多層膜を(111)面配向とし、Mn系合金を面心立方構造とした。【効果】本発明によるバッファ層は、従来よりも少ないスパッタリング・カソードで形成が可能である。また、面心立方構造のMn系合金は、室温で反強磁性を示すため、Mn系合金に接する磁性層に高い交換バイアス磁界が印加される。
請求項(抜粋):
二層の磁性層が非磁性層により分離されており、一層の磁性層に反強磁性層が接している多層膜が、3d遷移金属元素の酸化物からなる層の上に形成されていることを特徴とする多層磁気抵抗効果膜。
IPC (2件):
G11B 5/39 ,  H01F 10/30
FI (2件):
G11B 5/39 ,  H01F 10/30

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