特許
J-GLOBAL ID：200903004771750096

原子ビーム制御装置および制御方法

発明者：
大向 隆三

大向 隆三 について

, 
渡辺 昌良

渡辺 昌良 について


出願人/特許権者：
独立行政法人通信総合研究所

独立行政法人通信総合研究所 について


代理人 (1件)： 福井 國敞 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-398289
公開番号（公開出願番号）：特開2002-196100
出願日： 2000年12月27日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：
【要約】【課題】多重極磁場を通過する原子ビームに光ビームを照射し,原子ビームの位置を制御する原子ビーム制御装置および制御方法に関する。原子ビーム位置を自動制御し,描画位置を二次元的に移動するようにすることを目的とする。【解決手段】 多重極磁場を通過する原子ビームに光ビームを照射して,原子ビームの位置を制御する原子ビーム制御装置において,原子ビームの位置を検出するためのプローブ光を発生するプローブ光発生器と,プローブ光を受光する光検出器と,該光検出器の出力値に基づいて原子ビームの位置を制御する多重極磁場生成電極に流れる電流を制御する電流制御部とを備える。
請求項（抜粋）：
多重極磁場を通過する原子ビームに光ビームを照射して,原子ビームの位置を制御する原子ビーム制御装置において,原子ビームの位置を検出するためのプロープ光を発生するプローブ光発生部と,プローブ光を受光する光検出器と,該光検出器の出力値に基づいて原子ビームの位置を制御する多重極磁場生成電極に流れる電流を制御する電流制御部とを備えることを特徴とする原子ビーム制御装置。
IPC (6件)：
G21K 1/00 ,  B01D 59/34 ,  G21K 1/093 ,  G21K 5/04 ,  H01L 21/30 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
G21K 1/00 A ,  B01D 59/34 E ,  G21K 1/093 S ,  G21K 5/04 C ,  H01L 21/30 ,  H01L 21/30 502 D
Fターム (3件)：
5F046BA10 ,  5F046DA30 ,  5F046DB04
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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