特許

J-GLOBAL ID：200903004772239875

SPM用探針の評価方法

発明者： 梅原 康敏
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-265952
公開番号（公開出願番号）：特開平6-117844
出願日： 1992年10月05日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 走査型探針顕微鏡に用いる探針の先端部形状を評価する。【構成】 被検査探針を用いて原子間力顕微鏡(AFM)によって、標準試料を走査した像を求め(S1 )、その被検査探針の端部形状が二つの凸部間においてなるべく狭い範囲内に表示されるかを調べ(S2 )、表示されていない場合は突起の直径、ピッチ、高さの異なる標準試料にかえて(S3 )スッテプS1 に戻る。この様にして好ましい標準試料を探し、実際のAFM像を得、関数で近似した先端形状の探針を用いてAFM像をコンピューターシュミレーションによって求め(S4 )、先に求めた実際の像との二乗誤差を求め、これが最小かどうかを判定する(S5 )。最小でない場合は関数のパラメータを修正して(S7 )ステップS4 に戻る。この様にして実像に最も近いシュミレーション像を求め、使用した関数で近似している探針の先端形状から被検査探針の形状を推定する(S8 )。

請求項（抜粋）：

平面上に同一凹凸パターンが繰り返し形成されている標準試料を、被検査探針で走査してその凹凸像(実像)を求める第1ステップと、探針先端形状を関数で表現し、その探針で上記標準試料を走査したときに得られる凹凸像(シュミレーション像)を演算で求める第2ステップと、上記実像と上記シュミレーション像とを比較し、その差が小さくなるように上記関数のパラメータを決定する第3ステップと、上記第2ステップ及び第3ステップを繰り返して、上記被検査探針の先端形状を推定する第4ステップと、を持つSPM用探針の評価方法。