特許
J-GLOBAL ID：200903004772525975
平面度測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-148542
公開番号（公開出願番号）：特開平7-332962
出願日： 1994年06月07日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 真直度計を使用して平面度を測定するに際し、極めて簡単な構造かつ低コストの装置で以って高精度の平面度測定を可能とする。【構成】 被測定体と基台との間に下面が高精度に仕上げられた基準板及び該基準板の下面を複数箇所で支承する基準板支持具を介装する。また、基準板と被測定体とを回転軸受を介してリフト機構で支承する。
請求項（抜粋）：
支持具により3点の支持点で支持された被測定体の平面度を真直度計を用いて測定する平面度測定装置において、前記各支持具を平滑な下面を有する基準板の上面に載置し、前記基準板の下面を基台上に回転自在に支持する基準板支持具を設けたことを特徴とする平面度測定装置。
IPC (2件)：
G01B 21/30 101
, G01B 5/28 101
