特許

J-GLOBAL ID：200903004783679036

結晶作製装置及び結晶作製方法

発明者： 雨宮 光陽
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-051070
公開番号（公開出願番号）：特開2000-247772
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：

【要約】【課題】 直径300mm以上の大口径結晶であっても、固液界面の位置を安定させ、均一な結晶を得ることが可能な結晶作製装置及び結晶作製方法を提供すること。【解決手段】 炉内に、原料を収納するるつぼ3とるつぼ3を取り囲む様に配置されたヒーター1a,1bを有し、るつぼ3を引き下げることで原料融液4を下方から冷却し結晶を作製する装置において、るつぼ3の位置にかかわらず炉内における原料4の融点温度の位置が一定範囲(A-B)内に位置するように、炉内温度を制御するための制御系7を設けたことをことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

炉内に、原料を収納するるつぼと該るつぼを取り囲む様に配置されたヒーターを有し、該るつぼを引き下げることで原料融液を下方から冷却し結晶を作製する装置において、該るつぼの位置にかかわらず炉内における原料の融点温度の位置が一定範囲内に位置するように、炉内温度を制御するための制御系を設けたことをことを特徴とする結晶作製装置。

Fターム (9件)：

4G077AA02 ,  4G077BE02 ,  4G077CD02 ,  4G077EG01 ,  4G077EG18 ,  4G077EH07 ,  4G077HA01 ,  4G077MB04 ,  4G077MB33