光応力発生器及び検出器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤村元彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-316245
公開番号（公開出願番号）：特開2007-147620
出願日： 2006年11月22日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：

【課題】基板と重畳する薄膜との間の界面等の2つの材料の間の界面の特性を調べる改善された超高速光技術を提供する。【解決手段】機械的特性及び熱特性の測定による薄膜と薄膜間の界面との特性調査のためのシステムにおいて、レーザ136からの光は、薄膜や、複数の薄膜で作製された構造物に吸収され、光の透過あるいは反射の変化が測定されて、解析器134を使用して分析される。反射や透過の変化が使用されて、構造物で生成される超音波に関する情報を与える。この測定方法及び装置の使用から得られる情報は、(a)初期の方法と比較して改善された速度および精度での薄膜の厚さの測定、(b)薄膜の熱特性、弾性特性、光特性の測定、(c)薄膜内の応力の測定、(d)粗さと欠陥との存在を含む、界面の特性の特性調査、を含む。【選択図】図18

請求項（抜粋）：

サンプルの特性を調べる非破壊システムであって、光ポンプパルスを生成して、サンプルの表面の領域にポンプパルスを導く手段と、光プローブパルスを生成して、ポンプパルスの後に到着するように、サンプルの表面の同一領域あるいは異なる領域にプローブパルスを導き、ポンプパルスはプローブパルスと同じ波長あるいはプローブパルスの波長とは異なる波長を有する、手段と、サンプルの表面にポンプおよびプローブパルスの集束を自動的に制御する手段と、ポンプパルスに対する構造物の少なくとも1つの過渡応答を測定し、測定された過渡応答は、プローブパルスの反射部分の強度における変調変化ΔR、プローブパルスの透過部分の強度変化ΔT、反射プローブパルスの偏光の変化ΔP、反射プローブパルスの光位相の変化Δφ、プローブパルスの反射角度の変化Δθ、の少なくとも1つの測定値からなる、手段と、サンプルの光過渡応答の振幅を測定する測定システムを較正する手段と、構造物の対象の少なくとも1つの特性に、前記測定手段の出力を相関させる手段と、からなることを特徴とする非破壊システム。

IPC (4件)：

G01N 21/17 , G01N 21/00 , G01L 1/00 , G01B 11/06

FI (4件)：

G01N21/17 B , G01N21/00 A , G01L1/00 B , G01B11/06 Z

Fターム (34件)：

2F065AA30 , 2F065AA49 , 2F065AA50 , 2F065CC19 , 2F065CC31 , 2F065FF44 , 2F065FF46 , 2F065FF49 , 2F065GG04 , 2F065GG08 , 2F065HH04 , 2F065JJ16 , 2F065LL02 , 2F065LL12 , 2F065LL20 , 2F065LL28 , 2F065LL30 , 2F065LL33 , 2F065LL35 , 2F065LL37 , 2F065LL46 , 2F065LL57 , 2F065PP12 , 2F065QQ13 , 2G059AA02 , 2G059AA03 , 2G059AA05 , 2G059BB10 , 2G059EE02 , 2G059EE05 , 2G059GG01 , 2G059GG03 , 2G059GG08 , 2G059KK01

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平3-252152
超短パルス光を用いた超高速表面振動の測定法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-353922 出願人：新日本製鐵株式会社

引用文献：

審査官引用 (2件)

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