特許

J-GLOBAL ID：200903004787187090

大気圧下でマイクロ波プラズマを点火する方法および装置

発明者： 松村 知 ,  西村 達也
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (6件)： 社本 一夫 ,  千葉 昭男 ,  星野 修 ,  神田 藤博 ,  内田 博 ,  宮前 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-010037
公開番号（公開出願番号）：特開2004-221019
出願日： 2003年01月17日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：

【課題】気体の種類によらない大気圧マイクロ波プラズマの良好な点火性を得る方法および装置を提供する。【解決手段】大気圧マイクロ波プラズマを発生させる放電管の中に、プラズマ化する気体を流し、火花放電電極を該放電管内のマイクロ波電界強度の高い場所に位置するよう挿入し、そこで火花放電させてプラズマを点火させた後、電極をプラズマから離れた場所に待避させることにより、多種類のガスで大気圧プラズマを容易に自動点火させることができる。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

大気圧下でマイクロ波プラズマを点火する方法であって、気体をプラズマ放電管内に流し、火花放電電極を該プラズマ放電管内のマイクロ波電界強度の高い場所に位置するように挿入し、該火花放電電極による火花放電によりプラズマを点火させたあと、該火花放電電極をプラズマから待避させることを特徴とするマイクロ波プラズマの点火方法。

IPC (4件)：

H05H1/32 ,  B01J19/08 ,  C23C16/511 ,  H05H1/46

FI (4件)：

H05H1/32 ,  B01J19/08 E ,  C23C16/511 ,  H05H1/46 B

Fターム (14件)：

4G075AA03 ,  4G075BA01 ,  4G075CA15 ,  4G075CA26 ,  4G075DA02 ,  4G075EC21 ,  4G075ED13 ,  4G075EE04 ,  4G075FB02 ,  4K030FA01 ,  4K030JA09 ,  4K030JA20 ,  4K030KA14 ,  4K030KA30