特許
J-GLOBAL ID：200903004793572337
固体撮像装置のマイクロレンズ形成方法及び同レンズ形成用予設構造体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-121552
公開番号（公開出願番号）：特開平6-334160
出願日： 1993年05月24日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【構成】 ウェーハW上に材料レジストを塗布し、この材料レジストの露光処理によりメルト時の応力分散度を予定してマイクロレンズ材料基体6を多角形状に形成する((a))。その後、基体6の熱メルト処理によりマイクロレンズ7を形成する((b))。マイクロレンズ材料基体6は六角以上の偶数多角形や無数多角形である正円ないしは楕円を有するものとして形成される。これにより、マイクロレンズ7をその周縁部及びその付近の表面形状の曲率が中心部及びその付近のそれの可及的に差のないものとして仕上げる。【効果】 固体撮像装置としての使用の際の迷光発生を防止できる。また、形状制御が確実な原形パターンのときにマイクロレンズ仕上り形状や寸法を決めることができ、マスク設計・製造が容易となる。
請求項（抜粋）：
基板上に材料レジストを塗布する工程と、前記材料レジストの露光処理によりメルト時の応力分散度を予定してマイクロレンズ材料基体を多角形状に形成する工程と、前記マイクロレンズ材料基体の熱メルト処理によりマイクロレンズを形成する工程とを含んでいる固体撮像装置のマイクロレンズ形成方法。
IPC (3件)：
H01L 27/14
, G02B 3/00
, H04N 5/335
