特許

J-GLOBAL ID：200903004794314501

気密容器の封着方法

発明者： 日方 元 ,  菊谷 武民
出願人/特許権者： 日本電気硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-166136
公開番号（公開出願番号）：特開2001-345395
出願日： 2000年06月02日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【目的】 封着材としてリン酸塩系封着ガラスを使用しても、封着温度を上げることなく、被封着物との濡れ性を良好にすることが可能な気密容器の封着方法を提供することを目的にする。【構成】 気密容器の構成部材を封着材によって封着するに際し、少なくとも一方の構成部材の封着面をプラズマ処理した後、封着することを特徴とする。

請求項１：

気密容器の構成部材を封着材によって封着するに際し、少なくとも一方の構成部材の封着面をプラズマ処理した後、封着することを特徴とする気密容器の封着方法。

IPC (4件)：

H01L 23/02 ,  C03C 8/08 ,  C03C 8/24 ,  H01L 23/10

FI (4件)：

H01L 23/02 Z ,  C03C 8/08 ,  C03C 8/24 ,  H01L 23/10 A

Fターム (63件)：

4G062AA09 ,  4G062BB09 ,  4G062CC04 ,  4G062CC08 ,  4G062CC10 ,  4G062DA01 ,  4G062DB01 ,  4G062DC01 ,  4G062DD04 ,  4G062DE03 ,  4G062DE04 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FB01 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE06 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH04 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM23 ,  4G062NN32 ,  4G062NN34 ,  4G062PP01 ,  4G062PP12