微細溝を有する部材及びその製造方法及びこれを用いたインクジェットプリンタヘッド

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-297570
公開番号（公開出願番号）：特開平10-180939
出願日： 1997年10月29日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：

【要約】【課題】簡単な工程で、高密度、高精度の微細溝15を有する部材10を得る。【解決手段】セラミックス、ガラス、シリコン等からなる平板10の一面に、セラミックス、ガラス、シリコン等の粉体を凹部を有する成形型で成形して成る隔壁12を接合し、一体化して微細溝15を有する部材10を構成する。

請求項（抜粋）：

セラミックス、ガラス、シリコン等からなる平板の一面に、セラミックス、ガラス、シリコン等の粉体を凹部を有する成形型で成形して成る隔壁を接合し一体化してなる微細溝を有する部材。

IPC (4件)：

B32B 18/00 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (3件)：

B32B 18/00 B , B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

引用特許：

出願人引用 (2件)

審査官引用 (2件)

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