特許
J-GLOBAL ID：200903004796860554
集束イオンビームによる二次イオン像観察方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-011538
公開番号（公開出願番号）：特開平11-213934
出願日： 1998年01月23日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 集束イオンビームにて高分解能の二次イオン像を得る際、画像のS/N比が悪く、焦点の調整が困難であった。【解決手段】 高分解能の二次イオン像を観察する際、数秒の画像更新レートで二次電子像を観察しながら集束レンズ系の焦点を調整する第一の工程と、集束レンズ系の焦点は再調整せずに二次荷電粒子検出器で二次イオンを検出し走査速度数10〜数100秒/フレームで二次イオン像を観察する第二の工程により焦点のあった高分解能二次イオン像を得る。
請求項（抜粋）：
液体金属イオン源と前記イオン源から引き出されたイオンビームを集束するための集束レンズ系と前記イオンビームを試料上でオン/オフするためのブランキング電極とからなる集束イオンビーム発生部と、前記集束イオンビームを偏向走査するための偏向電極と、前記集束イオンビームが照射される試料を載置し移動可能な試料ステージと、前記集束イオンビームを照射することにより発生する二次荷電粒子を検出する二次荷電粒子検出器とからなる集束イオンビーム装置を用いて、二次荷電粒子検出器で二次電子を検出し二次電子像を観察しながら集束レンズ系の焦点を調整する第一の工程と、前記第一の工程で調整した集束レンズ系の焦点を再調整することなく二次荷電粒子検出器で二次イオンを検出し二次イオン像を観察する第二の工程から成ることを特徴とする集束イオンビームによる二次イオン像観察方法。
IPC (3件)：
H01J 37/28
, H01J 37/21
, H01J 37/317
H01J 37/28 Z
, H01J 37/21 Z
, H01J 37/317 D
