特許
J-GLOBAL ID：200903004801992006
電子エネルギ損失同時計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 道人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-193841
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029544
出願日： 1993年07月12日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 試料の原子分子との非弾性衝突によりエネルギを損失した電子線のエネルギ・スペクトラムを同時かつ並列的に計測する電子エネルギ損失同時計測装置において、簡単な構成でスペクトラムの部分的な拡大投影を広範囲にわたって行えるようにする。【構成】 試料12と扇形磁場15との間には、電子線1を平面検知器50上でフォーカスさせるための第1のレンズ手段21を設け、扇形磁場15と平面検知器50との間であって扇形磁場15の磁場方向(y方向)に関する電子線の収束点31には、平面検知器50上でのエネルギ・スペクトラムの分散距離を拡大するための第2のレンズ手段22を設けた。
請求項（抜粋）：
試料を透過した電子線を扇形磁場で軌道分離してエネルギ・スペクトラムを形成する電子エネルギ損失同時計測装置において、試料を透過した電子線に対して垂直な扇形磁場を発生する手段と、前記扇形磁場によって軌道分離された電子線を検知する手段と、試料と扇形磁場との間に配置された第1のレンズ手段と、扇形磁場と検知手段との間であって扇形磁場の磁場方向に関する電子線の収束点に配置された第2のレンズ手段とを具備したことを特徴とする電子エネルギ損失同時計測装置。
IPC (2件)：
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