特許
J-GLOBAL ID：200903004812578201
大気圧グロ-放電用電極及び該電極を使用したプラズマ処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
田中 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-009945
公開番号（公開出願番号）：特開平7-220895
出願日： 1994年01月31日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】大気圧グロ-放電プラズマ処理に使用する大気圧グロ-放電電極及び該電極を使用した大気圧グロ-放電プラズマ処理に関する。【構成】平行電極の少なくとも一方をガラス管1とし、該ガラス管内に電気的に絶縁されたポンプ5によって循環している導電性液体を導入し、この平行電極に交流電圧を印加するようにした大気圧グロ-放電電極である。
請求項（抜粋）：
平行電極の少なくとも一方をガラス管とし、該ガラス管内に電気的に絶縁されたポンプによって循環している導電性液体を導入し、この平行電極に交流電圧を印加するようにしたことを特徴とする大気圧グロ-放電電極。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, H01J 37/32
, H01L 21/302
