プレーナ型アクチュエータ及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：笹島富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-072026
公開番号（公開出願番号）：特開2003-270555
出願日： 2002年03月15日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】電磁力を利用して内外の可動板を揺動動作する2次元走査型のプレーナ型アクチュエータにおける外内の可動板の共振周波数比を大きくして、光をラスタ走査できるようにする。【解決手段】外側可動板23を軸支する外側トーションバー22を、剛性が低く共振周波数の低いポリイミドで形成し、内側可動板25を軸支する内側トーションバー24を、ポリイミドより剛性が高く共振周波数の高いシリコンで形成する。このように、外側トーションバー22と内側トーションバー24とを剛性の異なる材料で形成することにより、共振周波数比を大きくできる。

請求項（抜粋）：

固定部に外側トーションバーで揺動可能に軸支した枠状の外側可動板と、該外側可動板に前記外側トーションバーと軸方向が直交する内側トーションバーで揺動可能に軸支した内側可動板と、前記各可動板を駆動する駆動手段とを備えたアクチュエータにおいて、前記外側トーションバーと内側トーションバーを剛性の異なる材料で形成したことを特徴とするプレーナ型アクチュエータ。

IPC (3件)：

G02B 26/08 , B81B 3/00 , G02B 26/10 104

FI (3件)：

G02B 26/08 E , B81B 3/00 , G02B 26/10 104 Z

Fターム (14件)：

2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC04 , 2H041AZ01 , 2H041AZ08 , 2H045AB06 , 2H045AB10 , 2H045AB13 , 2H045AB16 , 2H045AB38 , 2H045AB43 , 2H045AB73 , 2H045BA13 , 2H045CB65

引用特許：

審査官引用 (4件)

アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-115643 出願人：オリンパス光学工業株式会社
微細加工捩り振動子の動的特性の調整
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-542011 出願人：クセロス・インク
光スキャナ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-261270 出願人：オリンパス光学工業株式会社

全件表示

前のページに戻る