特許
J-GLOBAL ID：200903004821501815
表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 和憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-067946
公開番号（公開出願番号）：特開平8-261949
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 検査速度を低下させることなく、欠陥の検出精度を向上させる。【構成】 一対の遮光板13a,13bは、投光器11とフイルム17との間に配置されており、それぞれ検査光25の光路内に上下方向から侵入して検査光25の走査方向に沿って直線状に延びたスリット開口13cを形成している。なおスリット開口13cの開口幅は、検査光25のビーム径に対して(1/10)〜(2/3)の範囲内に設定するのが好ましい。また一対の遮光板13a,13bは、フイルム17の表面からの距離が100mm以内に配置するのが好ましい。
請求項（抜粋）：
走査機構を内蔵した投光器により、連続走行する被検査体に対してその幅方向に走査する検査光を照射し、被検査体で反射又は透過した検査光を受光器で受け、この受光器からの出力に基づいて欠陥部の有無を検査する表面検査装置において、前記投光器と被検査体との間に、検査光の走査方向に沿って直線状に延びたスリット開口を有する遮光板を配置し、前記スリット開口を通った検査光により被検査体が走査されるように構成するとともに、被検査体の走行方向における前記スリット開口の開口幅を、投光器からの検査光のビーム径よりも狭くしたことを特徴とする表面検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/89 A
, G01N 21/84 E
審査官引用 (3件)
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特開昭56-160645
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特開昭60-128335
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特開昭64-050174
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