特許
J-GLOBAL ID：200903004830110357
ペリクル収納容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
薬師 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-227002
公開番号（公開出願番号）：特開平9-055354
出願日： 1995年08月14日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：
【要約】【課題】 サイズの異なるペリクルもガタツキを生じること無く収容でき、種々のサイズのペリクルに適用することができる汎用性に優れたペリクル収納容器を提供し、異なるサイズのペリクルの収容や運搬等に要するコストを低減する。【解決手段】 容器本体10の内底面に突条18を形成するとともに、この突条18が嵌合可能な条溝43が形成された大きさが異なる複数種の載置部材40を準備し、収容するペリクル30やペリクルフレーム31の大きさに応じ1つの載置部材40を選択して該載置部材40を突条18と条溝43との嵌合で容器本体10の内底部に着脱交換可能に取り付け、この載置部材40の上面にペリクル30が接着されたペリクルフレーム31を載置し、容器本体10に蓋20を取り付けると、蓋20に段差テーパ状に形成された押さえ部22がペリクルフレーム31を弾性的に押圧してペリクルフレーム31を押さえ部22と載置部材40との間で挟着するように構成した。
請求項（抜粋）：
周縁に嵌合部が囲繞形成され、内底部に載置部が設けられた容器本体と、内面に押さえ部を有し、前記容器本体の嵌合部に嵌着可能な蓋とを備え、ペリクルフレームに接着されたペリクルを前記載置部に載置し、前記ペリクルフレームを蓋の押さえ部により前記載置部に向け弾性的に押圧して挟持するペリクル収納容器において、前記ペリクルフレームの大きさに応じた載置部が形成された各載置部材を、前記容器本体の内底面に着脱交換可能に設けたことを特徴とするペリクル収納容器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 503 F
, B65D 85/38 C
