多点位置測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：尾川秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-353962
公開番号（公開出願番号）：特開平6-180209
出願日： 1992年12月15日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：

【要約】【目的】固体撮像素子のアオリの測定等を行う多点測定装置において、測定点121 、122 、123 、124 を切換えるのに要する時間を短縮する。【構成】光源1から発生した測定用光ビームBをビーム分割手段により複数のビームB1〜B4に分割して互いに位置が異なる複数の被測定点121 〜124 に照射し、戻り光をフォトデテクタ14により受光して焦点検出する。【効果】被測定点121 〜124 の切換のために被測定物12を移動する必要がなくなり、その移動に要する時間分測定時間の短縮ができる。

請求項（抜粋）：

測定用光ビームを発生する光源と、上記光源から発生した上記測定用光ビームを複数の光ビームに分割して互いに異なる被測定点に照射するビーム分割手段と、上記各被測定点に照射された測定用光ビームの戻り光を検出して被測定点の光軸上における位置を測定するフォトデテクタと、からなることを特徴とする多点位置測定装置

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01C 3/06

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平1-320430
特開昭64-057111
特表昭64-500293

審査官引用 (3件)

特開平1-320430
特開昭64-057111
特表昭64-500293

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