特許
J-GLOBAL ID：200903004833108230
同軸形直衝突イオン散乱分光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉内 義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-104847
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292352
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】 信号強度の角度依存性の実測データを採取する機能と、その角度依存性をシミュレーション計算する機能を有し、その両者のデータを用いた分析を効率良く行うことが可能な同軸形直衝突イオン散乱分光装置を提供する。【解決手段】 信号強度の角度依存性の実測データ採取とシミュレーション計算の両プロセスを多重処理により実行し、その実測データと計算結果を、表示器の同一画面上に各角度ごとの測定・計算が終了するごとに順次に表示するように構成して、分析効率の向上をはかっている。
請求項（抜粋）：
イオンビームを試料に入射させその入射位置から散乱角180°付近に散乱するイオンの強度を試料の設定角度を変化させつつ測定する測定装置と、信号強度の角度依存性の測定条件及び試料の結晶構造データを入力するための入力手段と、演算処理手段を備え、その演算処理手段は、入力された角度依存性の測定条件に基づいて上記測定装置を操作して各角度ごとの信号強度の実測データを採取する測定実行処理部と、入力された結晶構造データ及び角度依存性の測定条件に基づいてイオン散乱強度をシミュレーション計算して各角度ごとの信号強度を求めるシミュレーション計算部と、表示制御部を有し、その実測データ採取とシミュレーション計算を多重処理で実行するとともに、この各処理で得られる実測データと計算結果を、表示器の同一画面上に各角度についての測定・計算が終了するごとに順次に表示してゆくように構成されていることを特徴する同軸形直衝突イオン散乱分光装置。
IPC (3件)：
G01N 23/203
, H01J 37/252
, H01J 49/40
G01N 23/203
, H01J 37/252 B
, H01J 49/40
