【課題】配線部分のインダクタンスを低減するとともに接合間におけるIcの分散を抑制して、良好な特性を示す超電導素子を提供する。【解決手段】基板と、基板上に積層されてジョセフソン接合を形成する、酸化物超電導体の下部電極層、絶縁性のバリア層、および酸化物超電導体の上部電極層とを含み、前記上部電極層が、下記式(A)で表され、組成が連続的に変化している初期成長層と、下記式(B)で表される組成を有する主成長層とYbBa2CuwOy ...(A)YbBa2Cu3Oy’ ...(B)(ここで、3.0
請求項1:
基板と、基板上に積層されてジョセフソン接合を形成する、酸化物超電導体の下部電極層、絶縁性のバリア層、および酸化物超電導体の上部電極層とを含み、前記上部電極層が、下記式(A)で表され、組成が連続的に変化している初期成長層と、下記式(B)で表される組成を有する主成長層と
YbBa2CuwOy ...(A)
YbBa2Cu3Oy’ ...(B)
(ここで、3.0
IPC (2件):
FI (2件):
H01L39/22 A
, H01L39/24 J
Fターム (16件):
4M113AA06
, 4M113AA16
, 4M113AA25
, 4M113AA37
, 4M113AD36
, 4M113AD37
, 4M113AD39
, 4M113AD42
, 4M113BA04
, 4M113BA07
, 4M113BA11
, 4M113BA15
, 4M113BB07
, 4M113BC07
, 4M113BC22
, 4M113CA34
引用特許: