特許

J-GLOBAL ID：200903004841823177

光学式変位計

発明者： 平尾 猪一
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 中村 茂信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-157930
公開番号（公開出願番号）：特開平5-005618
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：

【要約】【目的】S/N比や測定精度の良好な光学式変位形を提供すること。【構成】タイミングパルス発生回路8と、増幅器9,10と、加算回路12と、加算回路12と増幅回路9の出力をそれぞれサンプリングパルスPS1に同期して取り込むS/H回路13,14と、S/H回路13と増幅回路9の出力を受け、この2つの信号のいずれか一方を分子切替えパルスPD のレベルに応じて切替えて出力する分子信号切替え回路15と、分子信号切替え回路15の出力をS/H回路14の出力で除算する除算回路16と、除算回路16の出力からオフセット信号を除去するオフセット信号除去回路16と、オフセット信号除去回路16の出力をサンプリングパルスPS2に同期して取り込むS/H回路18とで構成される。

請求項（抜粋）：

検査光を間欠的に測定対象物に照射し、その反射光を位置検出素子上に結像させ、位置検出素子の2つの出力信号を基にして測定対象物の変位量をアナログ信号として出力する光学式変位計において、検査光の照射タイミングを指示する投光用パルス、投光用パルスより遅れて出力される第1のサンプリングパルス、投光用パルスに同期して出力され投光用パルスよりパルス幅の広い分子切替えパルス、投光用パルスに先行して出力されるオフセット除去パルス、及び第1のサンプリングパルスの出力後に出力期間が重複することなく出力される第2のサンプリングパルスのそれぞれを出力するタイミングパルス発生回路と、位置検出素子の出力電流を各々これに比例する電圧値に変換する第1と第2の増幅回路と、この第1と第2の増幅回路の出力電圧を加算する加算回路と、前記第1の増幅回路と加算回路の出力電圧をそれぞれ前記第1のサンプリングパルスに同期して取り込む第1と第2のサンプルホールド回路と、この第1のサンプルホールド回路と前記第1の増幅回路の出力を受け、この2つの信号のいずれか一方を、前記分子切替えパルスのレベルの変化に応じて、切替えて出力する分子信号切替え回路と、この分子信号切替え回路の出力を前記第2のサンプルホールド回路の出力で除算する除算回路と、前記オフセット除去信号を利用して、除算回路の出力からオフセット信号を除去するオフセット信号除去回路と、このオフセット信号除去回路の出力を前記第2のサンプリングパルスに同期して取り込む第3のサンプルホールド回路とを備えることを特徴とする光学式変位計。