特許
J-GLOBAL ID：200903004842100993
感光性組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-253523
公開番号（公開出願番号）：特開平5-094017
出願日： 1991年10月01日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：
【要約】【構成】 (a) 酸により分解し得る基を少なくとも1個有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する化合物0.5〜80wt%、(b) 下記一般式(I)で示されるジスルホン化合物0.01〜20wt%、及び(c) 水不溶でアルカリ水に可溶な樹脂5〜99.49wt%からなる組成物において、上記(a) の化合物が分子量2,000 以下の低分子化合物で、沸点が150°C以上であり、該組成物の1μm の皮膜の光学濃度が248nmで1.4以下であり、且つ248nm光照射により248nmの光学濃度が未照射時の値よりも低下することを特徴とするポジ型感光性組成物。 R1 -SO2 -SO2 -R2 (I)式中R1 、R2 は同一でも相異していてもよく、置換又は未置換のアルキル、アルケニル、又はアリール基を示す。【効果】 高感度であり、短波長光源に対する適性があり、解像力に優れている。
請求項（抜粋）：
(a) 酸により分解し得る基を少なくとも1個有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する化合物0.5〜80wt%、(b) 下記一般式(I)で示されるジスルホン化合物0.01〜20wt%、及び(c) 水不溶でアルカリ水に可溶な樹脂5〜99.49wt%からなる組成物において、上記(a) の化合物が分子量2,000 以下の低分子化合物で、沸点が150°C以上であり、該組成物の1μm の皮膜の光学濃度が248nmで1.4以下であり、且つ248nm光照射により248nmの光学濃度が未照射時の値よりも低下することを特徴とするポジ型感光性組成物。 R1 -SO2 -SO2 -R2 (I)式中R1 、R2 は同一でも相異していてもよく、置換又は未置換のアルキル、アルケニル、又はアリール基を示す。
IPC (3件)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
